MEMS adalah singkatan dari sistem motor mikro. Ukuran miniaturisasi individu dari produk jadi berada pada tingkat milimeter atau bahkan mikron. Ini banyak digunakan dalam komunikasi 5G, pemantauan keamanan, otomasi industri, elektronik otomotif, dan bidang lainnya. Pada tahap ini, dapat dikatakan bahwa hampir semua produk elektronik diterapkan pada MEMS.
Keunggulan perangkat MEMS: ukuran kecil, ringan, integrasi mudah, konsumsi daya rendah, sensitivitas tinggi, dan banyak keunggulan lainnya. Dan bisa diproduksi massal. Meski bisa diproduksi massal, kemasan MEMS tidak universal. Menurut berbagai jenis fungsional komponen MEMS, struktur komponen dan metode pengemasan berbeda, dan jenis khusus lebih tinggi.
Teknologi perakitan tingkat chip biasanya digunakan pada tahap ini. Tentu, ada persyaratan yang cukup ketat pada akurasi perakitan, lingkungan operasi, dan metode penyelarasan.
Kesulitan perakitan tingkat chip MEMS
1. Standar presisi pengemasan tinggi
Perangkat lunak sistem MEMS mencakup antarmuka sinyal data yang unik, housing, dinding bagian dalam dan struktur lainnya, yang meningkatkan kesulitan kontrol posisi dan sudut selama pengambilan dan penempatan selama seluruh proses ikatan kawat komponen MEMS dan substrat multifungsi.
2. Bahannya rapuh dan mudah pecah
Perangkat MEMS, seperti akselerometer mikro, motor mikro, dll., umumnya memiliki struktur mekanis seperti rongga atau kantilever yang terpasang di dalamnya. Struktur ini berukuran kecil dan memiliki kekuatan mekanik yang jauh lebih kecil daripada chip IC. Mereka sangat rentan terhadap kontak fisik selama perakitan dan proses lainnya.
Banyak bagian dari perangkat MEMS tidak hanya berukuran kecil, tetapi juga rapuh dan rapuh, seperti alur dan sektor yang dalam, sehingga tekanan kerja yang diterapkan selama pengikatan sangat penting. Jika tekanan kerja terlalu kecil, koneksi tidak akan dekat; jika tekanan kerja terlalu tinggi, komponen akan rusak.
Dapat dilihat bahwa tingkat akurasi yang akurat dan amplitudo ikatan merupakan kondisi yang diperlukan untuk meningkatkan tingkat kelulusan instalasi transceiver frekuensi radio MEMS.
Ketika ketebalan perangkat MEMS antara 50-150μm, tekanan kerja ikatan kawat yang dipilih adalah antara 50-100g, dan perpindahan rotasi harus kurang dari 0,3 °, sehingga kerusakan pada komponen dapat dikurangi sebagian besar , dan kepatuhan dapat ditingkatkan. Kecepatan.
Penyelarasan presisi tinggi, jenis tambalan, untuk memastikan tingkat kelulusan
Umpan balik tingkat mikron untuk mendapatkan informasi data yang akurat, presisi kontrol gaya ±0,01N, tingkat akurasi pengulangan linier ±2μm, tingkat akurasi pengulangan rotasi ±0,01°, defleksi radial kurang dari 10μm, spesifikasi resolusi encoder 1μm, tersedia dalam output Stabil bahkan di bawah tinggi -kecepatan operasi, meningkatkan tingkat kualifikasi dan stabilitas.
Hisap vakum, tekanan kerja yang dapat dikontrol, kurangi konsumsi
Motor putar linier Guoao mengadopsi desain sumbu Z berongga, soket trakea yang dicadangkan, hisap vakum, plug and play, dan dapat memberikan layanan yang disesuaikan berdasarkan struktur dan karakteristik komponen;
Berisi"soft landing" fungsi, yang dapat menyelesaikan kontrol gaya stabil dalam ±1,5g, dan dapat menyesuaikan parameter seperti kecepatan, akselerasi, dan kontrol gaya, sehingga kepala penempatan dapat menyentuh komponen MEMS dengan tekanan kerja yang sangat tepat, mengurangi Penipisan.
& quot;Z+R" desain terintegrasi sumbu untuk meningkatkan kecepatan
Solusi terintegrasi dua sumbu yang inovatif menggabungkan sekrup bola"motor servo + tradisional" menjadi satu, yang dapat menangani masalah beban berat sendiri dari sumbu Z, dan komponen lengkap Pick& Tempatkan, penempatan, dan tindakan lainnya dengan kecepatan dan presisi tinggi. Dorong Kurvanya mulus, dorong puncaknya adalah 8-50N, langkah efektifnya adalah 10-50mm, dan masa pakai siklus yang sangat tinggi memungkinkan produksi yang efisien.
